1、位于我国上海的SMEE已研制出具有自主知识产权的投影式中端光刻机，形成产品系列初步实现海内外销售正在进行其他各系列产品的研发制作工作生产线和研发用的低端光刻机为接近接触式光刻机，分辨率通常在数微米以上主要有德国SUSS美国MYCRONXQ4006以及中国品牌光刻机一般根据操作的简便性分为三种。

2、生产光刻机上市公司有ABM上海微电子装备有限公司佳能尼康荷兰ASML公司1ABM ABM公司成立于1986年，总部位于美国硅谷San Jose主要经营光罩对准曝光机光刻机，单独曝光系统，光强仪探针公司的主要市场在美国和亚洲2上海微电子装备有限公司 上海微电子装备有限公司坐落于张江高科技园区。

3、也正是因此，能生产高端光刻机的厂商非常少，到最先进的14nm光刻机就只剩下ASML，日本佳能和尼康已经基本放弃第六代EUV光刻机的研发相比之下，国内光刻机厂商则显得非常寒酸上海微电子装备集团股份有限光刻机主要用于广泛应用于集成电路前道先进封装FPDMEMSLED功率器件等制造领域，2018。

4、弘芯半导体引进ASML高端光刻机，国产14nm工艺新进展12月22日，武汉弘芯半导体宣布，其制造厂已迎来首台高端光刻机设备的隆重入驻，虽然官方并未透露具体型号，但知情人士透露这是一台价值千万美元级的ASML设备弘芯半导体项目堪称武汉半导体产业的重头戏，2018年总投资高达1280亿元，占地636亩，预计能实现年。

5、尼康是日本制造业的一颗明珠，在光刻机领域也是备受推崇的企业之一尼康的光刻机在全球有着广泛的应用，为全球各大芯片制造业提供了高品质的制造设备尼康在研发方面的实力非常强大，不断为全球芯片制造业带来各种创新技术SMIC是中国最大的芯片制造商之一，也是全球领先的光刻机生产商之一SMIC的光刻。

6、光刻机被称为“人类最精密复杂的机器”，该领域的龙头老大是荷兰ASML，并已经垄断了高端光刻机市场荷兰ASML公司EUV光刻机售价高达1亿美元，而且只有ASML能够生产相比之下，中国最好的光刻机厂商上海微电子装备有限公司SMEE已经量产的光刻机中，性能最好的SSA60020工艺只能达到90nm，相当于2004。

7、芯碁微的主营业务是光刻机，但此光刻机与被国人深度关注的半导体光刻机有所不同，公司从事的是 以微纳直写光刻为技术核心的直接成像设备及直写光刻设备的研发制造销售以及相应的维保服务，主要产品及服务包括PCB直接成像设备及自动线系统泛半导体直写光刻设备及自动线系统其他激光直接成像设备以及上述产品的售。

8、4国际竞争光刻机市场竞争激烈，国内企业需要具备与国外光刻机厂商竞争的实力，包括在性能质量和价格等方面都有竞争力5市场需求光刻机的需求与半导体产业的发展紧密相关如果半导体市场持续增长，国内企业国产化光刻机的发展前景可能会更加乐观。