1、在1985年之前，第一代光刻机光源以436nm的gline汞灯光源为主，只适用于5μm以上制程之后出现了365nm的iline汞灯光源的第二代光刻机，制程精度来到了3...

其中EUV光刻机出货是42台，贡献的营收是63亿欧元左右，相当于每台EUV光刻机售价高达15亿欧元左右这意味着剩余的244台光刻机累计销售额大约是123亿欧元左右，平均下...

市场上主力机种是XT系列以及NXT系列，为ArF和KrF激光光源，XT系列是成熟的机型，分为干式和沉浸式两种，而NXT系列则是现在主推的高端机型，全部为沉浸式 目前已经商...