市场上主力机种是XT系列以及NXT系列，为ArF和KrF激光光源，XT系列是成熟的机型，分为干式和沉浸式两种，而NXT系列则是现在主推的高端机型，全部为沉浸式 目前已经商用的最先进机型是Twinscan NXT 1950i，属于沉浸式光刻机，用来生产关键。

据了解，中芯国际城向荷兰ASML订购了一款光刻机而该款光刻机的价格已经达到了15亿美元很显然，如果中国长时间不能从光刻机领域得到突破，那么后期的中国可能会被荷兰控制的死死的，并且会在这一领域更加的举步维艰。

一台光刻机售价13亿人民币，运费大约10亿人民币，安装调试需要半年2022年第三季度阿斯麦公司销售12台极紫外光刻机，价格217亿欧元，平均一台18亿欧元，大约13亿人民币一台光刻机大约相当于2个公交车大小，重量200。

其中EUV光刻机出货是42台，贡献的营收是63亿欧元左右，相当于每台EUV光刻机售价高达15亿欧元左右这意味着剩余的244台光刻机累计销售额大约是123亿欧元左右，平均下来每台光刻机的售价大约是5，000万欧元左右按照这个。

贵根据化工光仪器网查询可知，光刻机冷却设备价格在几十万，上百万，上千万不等，而光刻机冷却设备不仅贵还耗电，每天将近能耗电3万度相当于一个家庭十年的用电量。

用于芯片技术的后半部分的机器封测光刻机是在快要做好的芯片再次加工，能够更好的提升芯片的性能封测光刻机价格在1800万元左右。