总之，光刻机利用的是脉冲激光对芯片进行刻蚀，而不是连续激光；用于生产芯片的光刻机是中国在半导体设备制造上最大的短板，国内晶圆厂所需的高端光刻机完全依赖进口，本次厦门企业从...

1、总之，光刻机利用的是脉冲激光对芯片进行刻蚀，而不是连续激光。 2、用于生产芯片的光刻机是中国在半导体设备制造上最大的短板，国内晶圆厂所需的高端光刻机完全依赖进口，本次...

1、常见光源分为紫外光UV，g线436nmi线365nm深紫外光DUV，KrF 准分子激光248 nm， ArF 准分子激光193 nm极紫外光EUV，10 ~ 15 n...