1、位于我国上海的SMEE已研制出具有自主知识产权的投影式中端光刻机，形成产品系列初步实现海内外销售正在进行其他各系列产品的研发制作工作生产线和研发用的低端光刻机为接近接...

你们要光刻机是用于科研，小规模生产的SUSS，MYCRO NXQ的，或者ABM的都挺好的，SUSS光刻机很好，只是价格太贵，我认识的一些物理实验室用MYCRO NXQ的。...