光刻机是芯片制造过程中的关键设备之一它主要用于对芯片表面进行光学图案的制作,将芯片的电路图案投影到光刻胶上,在芯片表面上制造出微米级别的图案光刻机是半导体制造过程中的关键设备,主要用于将微小的电子元件图案投影。
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