光刻机是芯片制造过程中的关键设备之一它主要用于对芯片表面进行光学图案的制作，将芯片的电路图案投影到光刻胶上，在芯片表面上制造出微米级别的图案光刻机是半导体制造过程中的关键...

中国光刻机历程 1964年中国科学院研制出65型接触式光刻机1970年代，中国科学院开始研制计算机辅助光刻掩膜工艺清华大学研制第四代分部式投影光刻机，并在1980年获得成...