最新消息显示，上海微电子装备计划于2021年交付首台国产28nm的immersion光刻机，即使这一技术的交付对比荷兰ASML公司全球最大的半导体设备制造商之一，光刻机制造领域全球领先有着近20年不足，但对于国内光刻机制造来讲，已经要跨出了很大；2没有参照物这么多年以来，中国之所以能够发展得这么迅猛，一方面是因为拥有相对技术的经验，另一方面就是因为，可以买到具有参考意义的物品，进行模拟式的研究，而高端光刻机的参照物，我们始终都没有获得，简直就是一张；对于这次的突破，验收专家组的意见是该光刻机在365纳米光源波长下，单次曝光最高线宽分辨力达到22纳米项目在原理上突破分辨力衍射极限，建立了一条高分辨大面积的纳米光刻装备研发新路线，绕过国外相关知识产权壁垒消；更为中国科技界注入了新的活力毛蔚，因为其在芯片光刻机领域的卓越成就，被公认为“世界第一天才少女”毛蔚在美国求学期间，对于芯片光刻机的研究已经达到了世界领先水平美国科技巨头曾以千万年薪邀请加入。

光刻机龙头股的崛起，不仅仅是一家企业的成功，更是整个半导体行业的发展其卓越的技术和服务水平，为半导体行业提供了关键的支撑，推动了整个行业的进步同时，光刻机龙头股的成功也象征着中国制造业的崛起这些企业的全球；摘要光刻机被誉为“现代光学工业之花”，号称比研制原子弹还困难全球只有3个国家能造在全球高端光刻机市场，荷兰达到全球领先水平，除了荷兰，日本中国也可以制造光刻机但我国一直被西方国家牢牢“卡脖子”，至今；1张江高科 上海浦东新区直属国有控股上市公司，培育孵化了唯捷创芯英集芯赛微微电子云从科技益方生物和联影医疗等科创板上市公司同时，公司持有国产高端光刻机企业上海微电子10779%的股权2炬光科技 国内；尤其是EUV光刻机，在2019年仅向全球供应了26台，其中近一半都被提供给了中国台湾的台积电而中国大陆的中芯国际连续多年向ASML公司提出购买要约，并先期支付巨额交易费用，却迟迟等不到荷兰ASML方面发货的消息。