高端光刻机被称为“现代光学工业之花”，制造难度很大，全世界只有少数几家公司能制造生产集成电路的简要步骤利用模版去除晶圆表面的保护膜将晶圆浸泡在腐化剂中，失去保护膜的部分被腐蚀掉后形成电路用纯水洗净残留在。

光刻机是一种常见于半导体工业和微电子制造中的重要设备它主要用于生产微型芯片和光学元件，通过使用光刻技术将图案模式转移到硅片或其他材料上光刻机的基本原理是利用光源和光学系统将光束聚焦到特定的图案上，并通过光。