设备不同，用途不一样1euv光刻机是使用极紫外光谱EUV的一种光刻机，euv光源样机则是用来测试和开发EUV光源的设备2euv光源样机是制造芯片的设备，而euv光刻机是为了提供光源而存在的设备。