高端光刻机被称为“现代光学工业之花”，制造难度很大，全世界只有少数几家公司能制造生产集成电路的简要步骤利用模版去除晶圆表面的保护膜将晶圆浸泡在腐化剂中，失去保护膜的部分被...

1、光刻机又名掩模对准曝光机曝光系统光刻系统等，是制造芯片的核心装备它采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上光刻机的种类可分为接触式曝光接...