前面几代光刻机，其价格的指数增长被吞吐量的提高所抵消，由此可以看出光刻机的吞吐量尤为重要因此，如何提高光刻机的吞吐量。

和同样是光刻机大厂的NikonCanon相比，其独霸全球的地位依然稳固ASML 2022年Q4及全年销售额毛利研发费用等情况 来源。

1台光刻机售价超11亿元几乎被荷兰阿斯麦垄断如上文提到，阿斯麦的4台EUV设备价值595亿欧元，按当前汇率折算成人民币，就是每。

众所周知，目前5nm及以下的尖端半导体制程必须要用到价格极其高昂的EUV光刻机，ASML是全球唯一的供应商更为尖端2nm制程。

所以光刻机的价格是非常昂贵的，一台高端的光刻机甚至可以卖到6亿元左右目前全球最贵的EUV光刻机单台售价已经超过63亿元。