1985年，机电部45所研制出了分步光刻机样机，通过电子部技术鉴定，认为达到美国4800DSW的水平这应当是中国第一台分步投影式光刻机，中国在分步光刻机上与国外的差距不超过7年但是很可惜，光刻机研发至此为止，中国开始。