生产光刻机上市公司有ABM上海微电子装备有限公司佳能尼康荷兰ASML公司1ABM ABM公司成立于1986年，总部位于美国硅谷San Jose主要经营光罩对准曝光机光刻机，单独曝光系统，光强仪探针公司的主要市场在美国。