光刻机工作原理光刻机通过一系列的光源能量形状控制手段，将光束透射过画着线路图的掩模，经物镜补偿各种光学误差，将线路图成比例缩小后映射到硅片上，不同光刻机的成像比例不同，有51，也有41然后使用化学方法。

是核心部件OPC鼓是利用OPC材料涂覆在导电铝筒表面而形成一种光电转换器件，是激光打印数码复印的核心部件opc鼓特点是在黑暗处是绝缘体，能维持一定的静电荷，当一定波长的光照射后，变成导体，通过铝基释放电荷，形成。

显然，中科院研制成功的这台“超分辨光刻装备”并不能说明我国在市场主流的的光刻机研制方面已经达到了世界先进水平，那么现阶段我国的光刻机的真实水平又是怎样的呢且看以下对比。