从90纳米跨越到28纳米，如果能实现，也是一个了不起的进步，期待上海微电子的28纳米光刻机！ 上海微电子SMEE 做为国内拥有最先进的光刻机设计制造技术厂商，目前能达到的最高工艺节点tech node 是90nm90nm是什么概念呢？大致相当。

3纳米，是指节点技术的关键尺寸，而这个尺寸不是芯片能用肉眼看到的几何尺寸一般是毫米到厘米级别，而一般是指栅极长度gate length这个长度是又掩膜版上定义好的尺寸决定的，而在生产过程中决定性的由光刻机来实现。

高端光刻机用不上，日本担心什么？ 日本自己有28纳米的光刻机，有极紫外光源但是这些都用不上，没有像intel，三星，台积电那样的半导体制造企业也没有像海思，高通，联发科，展锐，AMD，NVIDIA那样的芯片设计企业 做做液晶面板，滤波器件。

蚀刻机是在芯片生产的过程中所必须使用的一种设备，这种设备的作用就好像是雕刻中的刻刀一样，把一块完整的金属板中不需要的部分给去除掉，剩下的就是需要的电路了生产芯片主要用到两种机械，就是光刻机和蚀刻机，光刻。

就拿半导体芯片制造环节所用到的一台设备光刻机来说，做光刻机做得最好的是荷兰ASML，它做的极紫外光的光刻机，全球只此一家虽然极紫外光刻机是在荷兰制造，但是有两千多家厂商给它提供零部件，这两千多家厂商是来自世界各个发。

世界上制造光刻机技术最为先进的应该是荷兰，荷兰现在疫情闹得挺严重的，俄罗斯曾经给出一个神助攻督促，或者说给荷兰建议用荷兰的供货机换我们的口罩，因为现在医疗资源非常紧张，尤其是口罩和防护服我们国家在光科技的研究。

这样做还可以规避诸多专利壁垒 比如 X射线光刻机 ？其波长更短，更有益于提升制程生产高制程手机芯片时，其他条件光刻胶感光灵敏度光刻机输出功率，芯片产品制程等等相同的情况下，波长更短X射线光刻机的生产效率比EUV光源成倍。