2年搜集整理的资料和例证主要以掩模对准光刻机为主，电子束光刻机系统年保2年，URE2000S型紫外双面深度曝光光刻机结构组成紫外光刻机又名紫外曝光机或对准曝光机，集成了紫外光源对准系统和显微系统，可以实现掩模版。