全自动量产型晶圆光刻喷涂 适用于量产使用可喷涂均匀高效的薄膜适用于薄膜太阳能，半导体光刻胶等纳米及亚微米级薄膜制备。

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成都光电所光电所精品光刻机用于集成电路，半导体元器件，光电子器件等的研制和生产。