很多~我知道先进半导体,新进半导体,华虹,中芯国际都用,其他的场没有去看过就不清楚了~。

相信在国内企业的共同努力下,未来一两年内实现28nm甚至14nm光刻机完全自主还是有可能的而到了14nm这个级别,至少用在手机和通信设备上是没有问题的,可以保证华为的主营业务存续,剩下的则仍然需要慢慢追赶至少光刻机。

与Intel 7工艺相比,在同样的功耗下ldquo4nm EUVrdquo工艺频率提升215%,功耗降低了40%改用EUV光刻机之后,ldquo4nm EUVrdquo工艺良率也高了,生产制造也更简单了,不用多次曝光了,工艺步骤减少了5%。