点击蓝字 关注我们2023 轻舟已过万重山据我了解到的信息，国产EUV光刻机的进展情况如下1 中科院上海精密所发布了极紫外光。

你所不知道的ASML与EUV光刻机！篇二！内有新惊喜，记得 Pick一下 哦。

确保了我们的EUV 光刻机台有光阻可用，以及EUV 光阻本身的开发光罩技术的开发更加困难唯二的光罩基材maskblank供应。

双方将合作研发新的EUV光刻机，许多人不知道EUV光刻机跟蔡司有什么关系，现在应该明白了，ASML跟蔡司合作就是研发NA 05的。