比利时微电子研究中心装机，2025年后量产，第一台预计交付Intel实际上，ASML的EUV光刻机非常庞大，现售的033NAEUV光刻机拥有超10万零件，需要40个海运集装箱或者4架喷气货机才能一次性运输完成，单价14亿美元左右。

所以，理论上说，ASML一台7纳米光刻机每月可加工18万张12英寸晶圆，制造大约5000万片可用的die但考虑到客户一次下单量不可能这么大，加上制造过程中需要停机检查，所以实际产量会低于5000万片。

但即便是中国最先进的光刻机厂商，也仅仅是能90nm的光刻机而这个牛逼的阿斯麦ASML公司，已经可以生产7nm，甚至是5nm的EUV光刻机了，差距真不是一代两代 1ASML的成立 在阿斯麦诞生之前，光刻机领域是索尼的天下因为光刻机所。