国内能够研发光刻机的公司是上海微电子装备公司，当前该公司最先进的光刻机产品是600系列光刻机SSX600系列光刻机最高能够实现90nm工艺制程，荷兰的ASML的高端光刻机已经能够实现5nm工艺制程，两者之间的差距相当。

7纳米全世界只有荷兰能够制造顶级的光刻机，ASML更是步入5纳米的光刻机时代，在荷兰规定可以销售的光刻机中，能够支持7纳米工艺制程。

世界上最顶端的光刻机来自荷兰阿斯麦的极紫外光光刻设备，差不多12亿美元一台，还垄断着世界高端光刻机市场，像现在最先进制程的7纳米，有的国家有钱也是买不到的那么为什么这种世界高科技光刻机公司不在美国，而在。

全球唯一能制造高端euv光刻机的是荷兰阿斯麦尔公司，euv光刻机是采用135纳米极紫外光光源，为第五代光刻机，与第四代光刻机光源的193纳米深紫外光光源，技术上提升非常巨大，该光刻机可以说是全球尖端技术集大成者波兰。

截止2022年6月，世界上最先进的光刻机已经能够加工13 纳米线条而我们人类的头发丝直径大约是 50~70微米，也就是说，光刻可以刻画出只有头发丝直径15000的线条荷兰ASML公司的极紫外光刻机EUV是现在全球最顶尖的光。