纳米光刻机龙头股包括ASML Holding NVASMLCanon Inc佳能和Nikon Corporation尼康等1 ASML Holding NVASMLASML是全球最大的半导体光刻机制造商，拥有先进的纳米光刻技术在半导体行业迅速发展的背景下。

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生产光刻机上市公司ABM上海微电子装备有限公司佳能尼康1ABM ABM公司成立于1986年，总部位于美国硅谷San Jose主要经营光罩对准曝光机光刻机，单独曝光系统，光强仪探针公司的主要市场在美国和亚洲ABM总部。

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1大族激光0020082020年6月17日公司在互动平台称公司在研光刻机项目分辨率3 5μm，主要聚焦在分立器件LED等领域的应用，今年有望实现小批量销售 2张江高科公司在互动平台表示，上海张江浩成。

截止2021年1月，深圳市华星光电技术有限公司官方还未宣布上市消息，所以没有股票代码TCL华星光电技术有限公司以下简称TCL华星是由深圳市政府和TCL集团合资成立的国家高新技术企业，首批国家智能制造试点示范单位#160 其中。