1、3芯源微 芯源微是长江存储涂胶显影机供应商公司于2018年9月将1台前道机台发往长江存储进行工艺验证该设备是国产首台套可与光刻机联机的前道Iline工艺机台，可用于28nm及以上产线的加工过程，此前国内这类设备被。

2、上海微电子装备有限公司成立于2002年，主要致力于大规模工业生产的投影光刻机研发生产销售与服务，该公司产品可广泛应用于IC制造与先进封装MEMSTSV3DTFTOLED等制造领域 该公司主要产品包括 600扫描光刻机系列前道IC制造。

3、前者是DUV光刻机制造商，后者则控制了全球90%的涂胶显影设备 在半导体制造业里面，日企是上游的霸主芯片制造必备的26种设备中，日企在10种设备所占的市场份额超过50%在电子束描画设备涂布显影设备清洗设备氧化炉减压CVD。

4、根据前瞻产业研究院的数据，在晶圆加工设备中，刻蚀机投资占比最高达30%，其次是薄膜沉积设备占比25%，光刻机占比23%，其余设备合计占比22% 在各细分领域中，我国半导体设备企业具备竞争力的设备主要包括刻蚀设备薄膜沉积设备以及清洗。

5、为7纳米芯片生产线供应刻蚀机中微半导体如今通过台积电验证的5纳米刻蚀机，预计能获得比7纳米更大的市场份额中科院SP超分辨光刻机 提问者所说的中国光刻机达到世界先进水平，应该是指2018年11月29日通过验收的，由中国。