目前，各大设备厂商也纷纷推出了能够与第6代以上生产线配套的设备，如尼康公司的面向第6代第7代和第8代生产线应用的步进投影式平板显示器光刻机FX63S，FX71S和FX81S 本回答被提问者采纳 已赞过 已踩过lt 你对这个回答的。

目前，各大设备厂商也纷纷推出了能够与第6代以上生产线配套的设备，如尼康公司的面向第6代第7代和第8代生产线应用的步进投影式平板显示器光刻机FX63S，FX71S和FX81S。