据说可以做到5纳米，3纳米正在研发中补充 除尼康外，ASML也是很不错的凭借着台积电的“浸入式光刻技术”方案，ASML成功推出全球首台浸润式微影机，将193mm的光源波长一举缩短至132nm而彼时尼康推出的最新光刻机。

于是走投无门的台积电便找到了荷兰的ASML公司合作，经过不懈的研究与实验，最终联合推出了全球第一台浸润式光刻机至此，荷兰ASML公司名声鹊起，而这也加速了日本半导体产业的没落台积电究竟有多厉害现时台积电的市值在所有。

我国光刻机发展还是不错的2020年，“就算给你完整图纸，你也造不出来光刻机”2022年1月，“中国不太可能独立研制出顶级光刻技术，但也不是说绝对不行因为我知道物理定律在中国和这里是一样的，永远不要说永远。

上海微电子下一代28nm工艺节点的浸润式光刻机可以在明年完成量产交货，这意味着国产光刻机设备即将会掀起一股中国替代潮，已经取得了重大技术突破的上海微电子，未来的发展潜力无限上海微电子装备有限公司坐落于张江高科技园区。