38nm根据查询科技指南官网得知，ASML的TWINSCANNXT2000i型号是最先进的DUV浸润式光刻机之一，ASMLNXT2000i+是一款采用128nmArF光源...

据说可以做到5纳米，3纳米正在研发中补充 除尼康外，ASML也是很不错的凭借着台积电的“浸入式光刻技术”方案，ASML成功推出全球首台浸润式微影机，将193mm的光源波长...