光刻机是芯片制造的关键设备，我国投入研发的公司有微电子装备集团股份，长春光机所，中国科学院等都在研发，合肥芯硕半导体有限公司，先腾光电科技有限公司，先腾光电科技有限公司， 合肥芯硕半导体有限公司都有研发以及制造。

上海微电子装备有限公司上海微电子装备有限公司成立于2002年3月，截止2023年6月9日，是国内唯一能够做光刻机的企业，上海微电已经量产的光刻机中，性能最好的是SSA600200工艺。

国内光刻机排名第一的是上海微电子国内只有一家做光刻机整机的公司，就是上海微电子目前全球只有四家公司可以制造光刻机，分别是荷兰阿斯麦尔日本尼康和佳能中国上海微电子，其他拥有光刻机的公司基本上都是用的荷兰。

光刻机国产排名第一的是上海微电子目前全球只有四家能够制造光刻机的公司，分别是荷兰阿斯麦尔日本尼康和佳能中国上海微电子这里说的光刻机指的是euvduv浸润式光刻机所以说，国内仅有一家能够制造光刻机的公司。

国内唯一一台7nm光刻机在武汉弘芯中芯国际所采购的ASML光刻机设备，只能够实现14nm芯片量产，国内最先进的光刻机设备并不是中芯国际目前所使用的光刻机设备，而是武汉弘芯在2019年12月所购得的7nm光刻机，当时武汉弘。

2020年光刻机唯一上市公司是智光电气公司定位为综合能源技术与服务的领先提供商，在综合能源领域构建能源互联网时代的 产品+服务+投资quot经营平台公司专注工业节能大市场，打造咨询诊断工程设计建设投资运营的核心。

光刻机龙头股排名容大感光晶瑞电材南大光电上海新阳华懋科技1容大感光作为PCB感光油墨国内龙头企业之一，容大感光掌握了感光油墨的核心技术，包括树脂合成技术光刻胶光敏剂合成技术配方设计及工艺控制技术。