制造芯片的光刻机，其精度决定了芯片性能的上限最新消息显示，上海微电子装备计划于2021年交付首台国产28nm的immersion光刻机，即使这一技术的交付对比荷兰ASML公司全球最大的半导体设备制造商之一，光刻机制造领域全球领先有着近20年不足。

生产光刻机上市公司有ABM上海微电子装备有限公司佳能尼康荷兰ASML公司1ABM ABM公司成立于1986年，总部位于美国硅谷San Jose主要经营光罩对准曝光机光刻机，单独曝光系统，光强仪探针公司的主要市场在美国。