激光直接成像即LDI，光是由紫外激光器发出，主要用于PCB制造中线路层的曝光工艺像紫外LED直接成像技术这样的非激光的紫外光直接成像，光源是紫外光LED，主要用于PCB制造中阻焊层的曝光工艺 当然直接成像技术还是借助了半导体前道光刻机的；1大族激光0020082020年6月17日公司在互动平台称公司在研光刻机项目分辨率3 5μm，主要聚焦在分立器件LED等领域的应用，今年有望实现小批量销售 2张江高科公司在互动平台表示，上海张江浩成。

光刻机是一个由几万个精密零件几百个执行器传感器千万行代码组成的超复杂思维系统，它的内部运动精度误差不超过一根头发丝的千分之一以光刻机为代表的产品主要应用于四大领域，芯片制造芯片先进封装LED制造下一；众所周知，光刻机是芯片制造的核心设备之一，作为目前世界上最复杂的精密设备之一，其实光刻机除了能用于生产芯片之外，还有用于封装的光刻机，或者是用于LED制造领域的投影光刻机目前，我国高端的光刻机，基本上都是国外。

例如Mycro NQ光刻机采用的全气动轴承设计专利技术，有效避免轴承机械摩擦所带来的工艺误差对准系统另外一个技术难题就是对准显微镜为了增强显微镜的视场，许多高端的光刻机，采用了LED照明。

光刻机 eda

例如Mycro NQ光刻机采用的全气动轴承设计专利技术，有效避免轴承机械摩擦所带来的工艺误差对准系统另外一个技术难题就是对准显微镜为了增强显微镜的视场，许多高端的光刻机，采用了LED照明对准系统共有两套，具备调焦功能。