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asml光刻机原理

光刻胶汞灯光源盖近紫外光 350 450 nm，中紫外光 260 320 nm 和深紫外光 200 260 nm窄带滤光片 254nm 300nm 313nm 334nm 365nm 380nm 405nm 光刻胶汞灯光源各大高校。