1最初的两代光刻机采用汞灯产生的 436nm gline 和 365nm iline 作为光刻光源，可以满足08035 微米制程芯片的生产最早的。

光刻机是半导体制造设备中价格占比最大，也是最核心的设备，是附加价值极高的产品，被誉为是半导体产业皇冠上的明珠集成电路。

光刻机是芯片制造中光刻环节的核心设备， 技术含量价值含量极高 光刻机涉及系统集成精密光学精密运动精密物料传输。

“工欲善其事，必先利其器”，光刻机就是芯片制造中的那一把“利器”，也被誉为半导体产业皇冠上的明珠光刻机的主要作用是将。