因此，运动状态下控制精度，必须是纳米级别的，稍有偏差，成像就会出问题光刻机远比我们想象的要复杂的多可以说，光刻机是人类历史上几乎最精密的机器设备有人说，生产芯片靠砸钱钱，肯定是需要的，但还有环境问题；纳米技术根据查询百度百科显示，光刻机是用来生产半导体芯片必不可少的设备，光刻机的纳米指的是纳米技术，该技术用于制造芯片通过采用光束曝光方式将芯片电路图精确地投射到硅片表面，以此制造出微米甚至纳米级别的芯片。

最后，值得一提的是，发展光刻技术所形成的新工艺和新工具体系的应用前景是美好的这些技术将在半导体产业中得到广泛应用，并推动半导体芯片产业和高新技术产业的进一步发展预计在接下来的几年中，光刻机最小纳米数仍将不；将其运用到声学滤波器光电调制器等光电芯片制备以及光计算通讯等领域时可以让这些行业拥有较强的发展，也能够让我国在各个领域通过对这项技术的运用超越世界各国，成为该项技术的领先国家此外能够在实施光刻胶膜时达到；笫一代光刻机是436纳米一切光刻机的核心零件是围绕光源来的，根据光源的改进，光刻机一共可以分为5代，分别是最早的436纳米光刻机，然后第二代是365纳米波长，第三代是248纳米，第四代是193纳米波长，第五代是135。

28纳米根据中国人民网显示，2023年中国已经成功研发出国产第一台28纳米nm光刻机，该光刻机预计在年底能够交付使用；佳能光刻机22纳米，光刻机是制造微机电光电二极体大规模集成电路的关键设备光刻机可以分钟两种，分别是模板和图样大小一致的contact aligner，曝光时模板紧贴芯片第二是类似投影机原理的stepper，获得比模板更小的曝光。