1、独立研发光刻机对我国意味着科技上打破西方国家的垄断，改变中国高新技术被国外封锁的局面，同时可以推动国家自主芯片的研发进展目前世界上光刻机研发，由荷兰美国日本这三个国家掌握技术，根本不会对外开放也不会对外公布；科益虹源公司华为旗下的哈勃投资公司开始投资光刻机领域，入股了由中科院微电子所控股的科益虹源公司北京科益虹源光电技术公司注册资金从12亿元增加到202亿元，增长68%，投资中哈勃投资占股476%，成为第七大股东。

2、由于我国研发成功90nm制程的光刻机，同时中科院的“紫外光超分辨率光刻设备”研制成功，光刻分辨率可达22nm，ASML已经开始生产5nm制程的光刻机，所以才解除了7nm制程的光刻机“禁售令”，中芯国际获得了一台 虽然中芯国际拥有了一台7nm；A股市场有着中科院“血统”的上市公司，除了科大讯飞，还有机器人中科曙光福晶科技002222奥普光电002338中科三环000970东方中科002819中科信息等。

3、本源量子是国内中科院旗下的做量子计算机方面的公司之前中芯国际副总曾经在喜马拉雅的音频节目中回答过这一提问，他说1nm的光刻机工艺并不是技术上难以逾越的门槛只是目前采用投影或浸入式的技术还难以做到1nm工艺，但其实；2006年，科技部提出了光刻技术的中长期规划，希望中科院的国家重点实验室，能找到一条绕开国外技术壁垒，具有自主知识产权的光刻路径光电所SP光学光刻机就是绕开了传统的193纳米曝光的技术路线，利用长波长光源也可以得到一个。

4、简单点说，我们要想独自制造出EUV光刻机，就必须将我们的基础工业水平达到西方国家基础工业水平的总和所以，我们要想短时间内打破芯片封锁，解决芯片被卡脖子的问题，我们必须另辟蹊径所幸的是，中科院院士已经找到了这个“。