1、利益相关行业从业者耐碱玻璃纤维，应用于水泥基环境的无机非金属增强材料，国外发明，80年代引入此产品概念，中科院组织大批科研人员进行研发，在90年代终于攻克了难题，我国成为除美国和日本之外第三家拥有核心工艺的国家，目前；所以与光源光刻系统光刻胶和工艺等各方面的限制对准精度是在多层曝光时层间图案的定位精度曝光方式分为接触接近式投影式和直写式曝光光源波长分为紫外深紫外和极紫外区域，光源有汞灯，准分子激光器等。

2、1大族激光0020082020年6月17日公司在互动平台称公司在研光刻机项目分辨率3 5μm，主要聚焦在分立器件LED等领域的应用，今年有望实现小批量销售 2张江高科公司在互动平台表示，上海张江浩成；我国的“S光A”重型激光系统，综合作战能力强，可以充分适用于陆战和海战之中2013年9月9日，中科院网站公布，中国成为世界上唯一能够制造实用化深紫外全固态激光器的国家2016年，上海张江综合性国家科学中心超强超短激光实验装置研制工作。

3、在科学技术探测系留气球平台电动力推进飞艇无人机遥感载荷验证系统大型复杂激光器极大规模集成电路光刻机关键部件机载激光雷达和大屏幕激光显示系统等取得了多项科研成果截至2014年底，中国科学院光电研究院建筑面积。

4、可以降低光源波长离轴照明光学临近修正方法降低光刻机投影最小图像的尺寸降低光源波长，从436纳米，到365，再降低就到了极紫外准分子激光器的范围咯，然后是248，然后是目前工业界占绝对统治地位的ArF193nm离轴照明。

5、激光直接成像即LDI，光是由紫外激光器发出，主要用于PCB制造中线路层的曝光工艺像紫外LED直接成像技术这样的非激光的紫外光直接成像，光源是紫外光LED，主要用于PCB制造中阻焊层的曝光工艺 当然直接成像技术还是借助了半导体前道光刻机的。