不可否认，制造高端光刻机并不是一件容易的事情，单凭一个华为也很难搞出来其实，早在2016年，华为就开始研发光刻机，而华为也不是孤军奋战，包括国望光学科益虹源华卓精科上海微电子等国内顶尖芯片企业都在负重。

具体的上市时间还没公布北京华卓精科科技股份有限公司成立于2012年5月9日，主营业务为集成电路制造装备及关键零部件的研发和产业化目前产品包括超精密运动平台激光退火设备晶圆键合设备晶圆传输系统主被动隔振器。

比如双工件台有华卓精科制造浸液系统有启尔机电光源系统有科益虹源等等， 整个光刻机研发制造体系基本上就是科研机构浙大清华长春光机等专攻技术研发，然后再有专业厂商进行产业化 由此可见光刻机产业的体系庞大而又专业。

摘要光刻机是一种高精密芯片制造设备，如果想要自主生产芯片，光刻机是必要的那么光刻机是谁发明的光刻机是法国人Nicephoreniepce尼埃普斯发明的，现已成为半导体生产制造的主要生产设备光刻机制造需要哪些技术下面来。

1大族激光0020082020年6月17日公司在互动平台称公司在研光刻机项目分辨率3 5μm，主要聚焦在分立器件LED等领域的应用，今年有望实现小批量销售 2张江高科公司在互动平台表示，上海张江浩成。

参股公司上海半导体装备材料基金持有华卓精科208%股权6上海新阳公司在互动易平台表示，中芯国际是公司的主要客户之一2020年2月，公司在互动易平台披露，公司KRF光刻机能支持96层3DNAND用光刻胶研究，及250nm130nm工艺制程。