芯研所5月21日消息，最新消息称，荷兰ASML正在研发新款光刻机，价值高达4亿美元约合26亿元人民币，双层巴士大重超200吨原型机预计2023年上半年完工，2025年首次投入使用，2026年到2030年主力出货芯研所采编这款机器。

ASML为半导体生产商提供光刻机及相关服务，TWINSCAN系列是世界上精度最高，生产效率最高，应用最为广泛的高端光刻机型ASML的产品线分为PAS系列AT系列XT系列和NXT系列，其中PAS系列现已停产AT系列属于老型号，多数已经。