不是上海微电子14纳米光刻机是公司购入的设备，但并不是极紫外光刻机而极紫外线光刻机是芯片生产工具，是生产大规模集成电路的核心设备，对芯片工艺有着决定性的影响。

为了发展我国自主的科学仪器设备，促进我国深紫外领域前沿研究的发展，中科学院暂时禁止相关技术出口国外，并组织院内优势力量成功开发出了 深紫外拉曼光谱仪深紫外光电子发射显微镜深紫外激光光化学反应仪深紫外激光光致。