辐射指的是由场源发出的电磁能量中一部分脱离场源向远处传播，而后不再返回场源的现象辐射分为电离辐射和非电离辐射，光刻机的紫外光源为非电离辐射紫外辐射是一种非照明用的辐射源紫...

不是上海微电子14纳米光刻机是公司购入的设备，但并不是极紫外光刻机而极紫外线光刻机是芯片生产工具，是生产大规模集成电路的核心设备，对芯片工艺有着决定性的影响。 为了发展我...