1、蚀刻机是在芯片生产的过程中所必须使用的一种设备，这种设备的作用就好像是雕刻中的刻刀一样，把一块完整的金属板中不需要的部分给去除掉，剩下的就是需要的电路了生产芯片主要用到两种机械，就是光刻机和蚀刻机，光刻；但是，我国的光刻机设备一直处于十分落后的状态，很难让国内半导体厂商生产出高端芯片工艺而蚀刻机在我国却是特别先进，用于下一代新高端工艺芯片生产，也是绰绰有余据了解，中微半导体的所自研的高精度蚀刻机已达到5nm；蚀刻机和光刻机其实就是完全不同的两种设备，不论从功能还是结构上来说都是天差地别，光刻机是整个芯片制造过程中最为核心的设备，芯片的制程是由光刻机决定的，而不是蚀刻机具体如下1工作原理 如果把制造芯片比。

2、目前，国内的刻蚀机确实处于领先地位，5纳米等离子刻蚀机已经通过台积电的验证，但光刻机更差前次报告中提到的“中科院SP超分辨率光刻机”最多只能算是一个“样机”，无法与ASML光刻机相比，也无法用于芯片制造，一系列技术；吃饭设计错误，或者没有按照设计的去印，为什么不会短路呢，除了原本设定的，剩下就是蚀刻机的功劳了，蚀刻机的作用是把光刻机印线路的一些附着在周围的多余的没用的残渣去除掉，防止微型电路因为多余的东西而导致出问题。

3、对于芯片制造来说，光刻机和蚀刻机就像一对兄弟一样，一个处理前置，一个处理后置蚀刻机除了影响到芯片的制造成功之外，还影响到芯片的性能和良品率水平不够的蚀刻技术可能会去除掉不应该去除的部分，或者没有清理干净应。

4、刻蚀相对光刻要容易光刻机把图案印上去，然后刻蚀机根据印上去的图案刻蚀掉有图案或者没有图案的部分，留下剩余的部分“光刻”是指在涂满光刻胶的晶圆或者叫硅片上盖上事先做好的光刻板，然后用紫外线隔着光刻；光刻机是将图形刻到硅片上光刻机的作用相当于木匠在木料上用墨斗划线，刻蚀机的作用相当于木匠在木料上用锯子凿子斧子刨子等施工刻蚀机根据印上去的图案刻蚀掉有图案或者没有图案的部分，留下剩余的部分。