90纳米光刻机5纳米刻蚀机12英寸大硅片国产CPU5G芯片等实现突破全市集成电路产业规模达到2500亿元，约占全国25%。

从2009年开始算起，中国研究团队一路攻坚克难，国产首套90纳米高端光刻机已于近期第一次成功曝光2022年左右有望完成验收。

中国与国外的光刻机技术水平被迅速放大比如上海微电子的主要光刻机产品最高可以生产90纳米的芯片，与全球最领先的荷兰ASNL。

终于于2007年研制出了我国首台90纳米高端投影光刻机，成为世界上第四家掌握高端光刻机技术的公司据公开资料披露，由于该样。

ASML被限制对中国出售EUV光刻机，成为中国芯片产业发展的心头之痛，不过随着中国加速新芯片技术的发展，这很快将成为过去。

上海14纳米芯片规模量产，90纳米光刻机等实现突破“14纳米先进工艺规模实现量产，90纳米光刻机5纳米刻蚀机12英寸大。

多少纳米只是芯片的制造工艺，因此上海微电子的90纳米光刻机，是指通过单次曝光可以制造90纳米工艺的芯片而如果通过多次曝光。

这导致我们的光刻机技术长期停留在90纳米的技术阶段在荷兰公开表态支持美国打压中国芯片产业之后，最近日本也亮明了自己的底。