3南大光电 公司主要从事先进前驱体材料电子特气光刻胶及配套材料三类半导体材料产品的研产销对于光刻胶方面的业务，南大光电ArF光刻胶及配套材料项目所需的光刻车间和年产25吨的生产线已建成，ASML浸没式光刻机已。

光刻机是芯片制造的关键设备，我国投入研发的公司有微电子装备集团股份，长春光机所，中国科学院等都在研发，合肥芯硕半导体有限公司，先腾光电科技有限公司，先腾光电科技有限公司， 合肥芯硕半导体有限公司都有研发以及制造。

全世界只有中国日本荷兰可以制造光刻机，日本的代表企业是尼康佳能，曾经的光刻机“王者”，后来被荷兰ASML反超后就一蹶不振了，而中国也可以制造光刻机，只是达不到顶尖光刻机的精细程度目前，荷兰ASML一家公司。