回购光刻机指的是中国芯片企业要求ASML回购已经购买的700台光刻机光刻机，又名掩模对准曝光机曝光系统等，是制造芯片的核心装备光刻机采用类似照片冲印的技术，能够把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。

光刻机是一种用于微电子和半导体工艺中的关键设备它主要用于将电子器件的图形图案转移到半导体材料或薄膜上，以制造集成电路IC和其他微纳米器件光刻机的工作原理是将光源通过光学系统聚焦成一束细小的光束，然后通过掩。

生产芯片的光刻机是中国在半导体设备制造上的短板，国内晶圆厂所需的高端光刻机依赖进口在全世界范围内，有能力生产光刻机的企业只有寥寥可数的几家，其中的霸主是一家叫做ASML的荷兰公司ASML是一家有着一万六千名员工的。

1光刻机又名掩模对准曝光机曝光系统光刻系统等，是制造芯片的核心装备它采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上光刻机的种类可分为接触式曝光接近式曝光投影式曝光2。