2位于我国上海的SMEE已研制出具有自主知识产权的投影式中端光刻机，形成产品系列初步实现海内外销售正在进行其他各系列产品的研发制作工作3生产线和研发用的低端光刻机为接近接触式光刻机，分辨率通常在数微米以上。

荷兰有一家公司ASML，它是全球做光刻机最好的国家，这个根本不用质疑，这家公司拥有强大的科研实力，碾压了美国英国等等貌似芯片软件实力极强的国家而且这家公司非常精准的抓住了光刻机技术发展的转折点，旗下的利用光源。

目前能制造高端光刻机的好像只有中国，荷兰镜头来自德国和日本光刻机又称掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干涂底旋涂光刻胶软烘对准曝光后烘显影硬烘刻蚀等。