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LDWD1,LDWD1 采用多台 LDW X6 并联自动化生产,可以实现多个机台同时独立工作,整个自动线系统包括数个独立光刻机台和一个公用的机械传送装置,系统通过读码扫描生产信息进行参数调取,可以实时监测各个机台的运作情况并反馈到客户。