1现在国内的光刻机能达到多少纳米的技术官网显示，目前最先进的光刻机是600系列，光刻机中最高的生产工艺可以达到90nm然而，与荷兰ASML公司拥有的EUV掩模对准器相比，它可以通过高达5纳米的工艺制造而且3nm工艺制作的。

我国造不出光刻机，有以下三个原因1因为我们的技术有限为了阻止我们的技术发展，西方国家阻碍了一些技术进入中国因此，这一限制将影响中国在光刻机的发展2事实上，我们的许多组件的使用取决于国际市场，在这种情况。

还必须考虑通过每个镜头和光路的光的折射损失，并且可用于光刻的能量非常小中国能否自己造一台光刻机光刻机在全世界非常稀有，发达国家为了阻止中国发展，禁止出售光刻机到我们国家但是，近几年我国的科学家和政府都在。