飞利浦的XL系列那种大腔体的电子显微镜要上百万，不是一般工艺线上的那种测线宽的设备，而是多用途的那种，一般用于失效性分析跟切片的光刻在整条工艺线中成本最高并不是因为光刻机，而是光刻胶，那玩意儿成本差不多一滴。

建造生产厂这么费钱，生产设备比如光刻机也不便宜，EUV极紫外光刻机每台大约12亿美元，比一架波音787便宜大约6千万美元用超级纯的原材料超级干净的生产车间和超级贵的设备，造出指甲盖大小的芯片，居然最低只卖。

因为一个好的发动机寿命都是几十年不坏，你一个人没有几十年等，别人国外的发动机都是化费几百年时间一代代改进才有今天的，我们要搞好发动机缺少的也是时间，所有发动机比光刻机更难。

光刻机的主要性能指标有支持基片的尺寸范围，分辨率对准精度曝光方式光源波长光强均匀性生产效率等针对各大专院校企业及科研单位，对光刻机使用特性研发的一种高精度光刻机，中小规模集成电路半导体元器件光。