飞利浦的XL系列那种大腔体的电子显微镜要上百万，不是一般工艺线上的那种测线宽的设备，而是多用途的那种，一般用于失效性分析跟切片的光刻在整条工艺线中成本最高并不是因为光刻机...

磁控溅射技术的成像精度比起光刻机更高，所制造出来的元器件质量更加稳定，因此被誉为比光刻机还厉害的制造技术磁控溅射技术所制造出来的薄膜材料具有优异的性能，比如高硬度高耐磨性...