构成对华光刻机出口的全面禁令2部分放松2020年，在双方讨论下，美国同意ASML可出口一些旧款光刻机给中国，用于生产14纳。

光刻机主要由激光光源物镜系统和工作台三个核心部分组成，它们之间相互配合完成更为精确的光刻激光光源方面，EUV光源已确。

光刻机的生产可以说是非常困难的，它的难度已经不是一般级别的设备，其中综合有许多复杂的学科它包含的不仅仅有着数学，光学。