由于我国研发成功90nm制程的光刻机,同时中科院的“紫外光超分辨率光刻设备”研制成功,光刻分辨率可达22nm,ASML已经开始生产5nm制程的光刻机,所以才解除了7nm制程的光刻机“禁售令”,中芯国际获得了一台 虽然中芯国际拥有了一台7nm制程。

5nm激光光刻技术,预示着我们即将能取代ASML,但是5nm激光光刻技术还未安全成熟,因此还是要用ASML技术。

目前,国内的刻蚀机确实处于领先地位,5纳米等离子刻蚀机已经通过台积电的验证,但光刻机更差前次报告中提到的“中科院SP超分辨率光刻机”最多只能算是一个“样机”,无法与ASML光刻机相比,也无法用于芯片制造,一系列技术。

量子计算机基于叠加与纠缠的量子力学特性,能够实现远超经典计算机的算力飞跃,被喻为信息时代的“核武器”,关系着国家的未来核心竞争力而量子芯片就是这项颠覆性技术的核心环节与经典计算机中的CPU类似,量子芯片是量子。

国产光刻机突破封锁,成功研制22nm光刻机,中国芯正在逐渐崛起高端的投影式光刻机可分为步进投影和扫描投影光刻机两种,分辨率通常七纳米至几微米之间,高端光刻机号称世界上最精密的仪器,世界上已有12亿美金一台的光刻。

中国有自己的光刻机,由中国科学院光电技术研究所承担的国家重大科研装备研制项目“超分辨光刻装备研制”通过验收,这是世界上首台用紫外光实现了22nm分辨率的超分辨光刻装备,为纳米光学加工提供了全新的解决途径在光电所的。